Исследование процессов плотного и пористого анодирования пленок алюминия, легированных переходными металлами, и разработка на их основе двухуровневой металлизации полупроводниковых интегральных микросхем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.12.18 Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование / Кравченко Владимир Михайлович

Сохранено в:
Шифр документа: АЯ383768СК,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Кравченко, В. М.
Опубликовано: Минск , 1980
Физические характеристики: 24 с. : табл.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 1 , доступно: 1 Доступно  Заказать

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
АЯ383768СК ОФХ отдела книгохранения (039) 11:4:2:59 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал