Исследование процессов плотного и пористого анодирования пленок алюминия, легированных переходными металлами, и разработка на их основе двухуровневой металлизации полупроводниковых интегральных микросхем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.12.18 Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование / Кравченко Владимир Михайлович
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Кравченко, В. М. |
Опубликовано: | Минск , 1980 |
Физические характеристики: |
24 с. : табл.
|
Язык: | Русский |
Предмет: | |
Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|