|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
001 |
BY-NLB-rr13055920000 |
005 |
20200214092541.0 |
100 |
# |
# |
$a 20070227d1980 k y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a BY
|
105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
200 |
1 |
# |
$a Исследование процессов плотного и пористого анодирования пленок алюминия, легированных переходными металлами, и разработка на их основе двухуровневой металлизации полупроводниковых интегральных микросхем
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.12.18 Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование
$f Кравченко Владимир Михайлович
$g Министерство высшего и среднего специального образования БССР, Минский радиотехнический институт
|
210 |
# |
# |
$a Минск
$d 1980
|
215 |
# |
# |
$a 24 с.
$c табл.
|
320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 23―24 (16 назв.)
|
333 |
# |
# |
$a Для служебного пользования
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24604
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4412344
$a ПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar19558
$a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17958
$a МЕТАЛЛИЗАЦИЯ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar60038
$a МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2722583
$a ОКИСНЫЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar83379
$a АНОДНОЕ ОКСИДИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33866
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ
$2 DVNLB
|
615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77-027.3:621.793(043.3)
$v 4
$z rus
|
675 |
# |
# |
$a 539.232(043.3)
$v 4
$z rus
|
686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 55.22.19
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 05.12.18
$2 nsnrsssr
|
700 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar13620561
$a Кравченко
$b В. М.
$g Владимир Михайлович
$c микроэлектроника
|
712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar5102567
$a Минский радиотехнический институт
$4 995
$4 595
|
801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070227
$g psbo
|
856 |
4 |
# |
$u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/AYA383768.pdf
|