Исследование процессов плотного и пористого анодирования пленок алюминия, легированных переходными металлами, и разработка на их основе двухуровневой металлизации полупроводниковых интегральных микросхем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.12.18 Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование / Кравченко Владимир Михайлович

Сохранено в:
Шифр документа: АЯ383768СК,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Кравченко, В. М.
Опубликовано: Минск , 1980
Физические характеристики: 24 с. : табл.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-rr13055920000
005 20200214092541.0
100 # # $a 20070227d1980 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Исследование процессов плотного и пористого анодирования пленок алюминия, легированных переходными металлами, и разработка на их основе двухуровневой металлизации полупроводниковых интегральных микросхем  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.12.18 Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование  $f Кравченко Владимир Михайлович  $g Министерство высшего и среднего специального образования БССР, Минский радиотехнический институт 
210 # # $a Минск  $d 1980 
215 # # $a 24 с.  $c табл. 
320 # # $a Библиография: с. 23―24 (16 назв.) 
333 # # $a Для служебного пользования 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24604  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4412344  $a ПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar19558  $a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17958  $a МЕТАЛЛИЗАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar60038  $a МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2722583  $a ОКИСНЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83379  $a АНОДНОЕ ОКСИДИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33866  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77-027.3:621.793(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 539.232(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.33.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.22.19  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.16  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.12.18  $2 nsnrsssr 
700 # 1 $3 BY-NLB-ar13620561  $a Кравченко  $b В. М.  $g Владимир Михайлович  $c микроэлектроника 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar5102567  $a Минский радиотехнический институт  $4 995  $4 595 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070227  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/AYA383768.pdf