Повышение эффективности процесса центрифугирования полупроводниковых пластин на базе устройств с вихревой газовой прослойкой: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.13.07) / Моск. гос. техн. ун-т им. Н. Э. Баумана
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Кочетов, В. И. |
| Опубликовано: | М. , 1989 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||