Исследование процессов формирования слоев нитрида кремния на Si (III) и Si (100) при облучении ионами азота низких энергий: Автореф. дис. на соиск. учен. степ канд. физ.-мат. наук: (01.04.07) / АН СССР, Дальневост. отд-ние, Ин-т автоматики и процессов управления
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Котляр, В. Г. |
| Опубликовано: | Владивосток , 1991 |
| Физические характеристики: |
17 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||