Физико-химические процессы обработки поверхности кремния и арсенида галлия применительно к технологии изготовления барьерных структур: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.06) / АН БССР, Ин-т электроники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Короткевич, Н. М. |
| Опубликовано: | Мн. , 1988 |
| Физические характеристики: |
17 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr12824900000 | ||
| 005 | 20070222185921.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070222d1988 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a BY |
| 200 | 1 | # | $a Физико-химические процессы обработки поверхности кремния и арсенида галлия применительно к технологии изготовления барьерных структур $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.27.06) $f АН БССР, Ин-т электроники |
| 210 | # | # | $a Мн. $d 1988 |
| 215 | # | # | $a 17 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 14-17 (27 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.06 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Короткевич $b Н. М. $g Нина Михайловна |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070222 $g psbo |