Физико-химические процессы обработки поверхности кремния и арсенида галлия применительно к технологии изготовления барьерных структур: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.06) / АН БССР, Ин-т электроники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Короткевич, Н. М. |
| Опубликовано: | Мн. , 1988 |
| Физические характеристики: |
17 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||