Исследование твердофазной эпитаксии тонких пленок кремния: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.07) / Харьк. политехн. ин-т им. В. И. Ленина
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Коробцов, В. В. |
| Опубликовано: | Харьков , 1987 |
| Физические характеристики: |
15 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr12775770000 | ||
| 005 | 20070221173337.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070221d1987 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UA |
| 200 | 1 | # | $a Исследование твердофазной эпитаксии тонких пленок кремния $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук $e (01.04.07) $f Харьк. политехн. ин-т им. В. И. Ленина |
| 210 | # | # | $a Харьков $d 1987 |
| 215 | # | # | $a 15 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 14-15 (13 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 01.04.07 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Коробцов $b В. В. $g Владимир Викторович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070221 $g psbo |