Исследование твердофазной эпитаксии тонких пленок кремния: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.07) / Харьк. политехн. ин-т им. В. И. Ленина
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Коробцов, В. В. |
| Опубликовано: | Харьков , 1987 |
| Физические характеристики: |
15 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||