|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr12763600000 |
| 005 |
20200803133946.0 |
| 010 |
# |
# |
$d Б. ц.
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070221d1989 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Коррекция эффектов близости при электронной литографии по методу дифференциации дозы
|
| 210 |
# |
# |
$a Ярославль
$d 1989
|
| 215 |
# |
# |
$a 16 с.
|
| 225 |
2 |
# |
$a Препр.
$f АН СССР, Науч. центр по фундам. пробл. вычисл. техники и систем упр., Ин-т микроэлектроники
$v № 12
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 15 (7 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 100 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Литография электронная
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.774.002:621.7/.9.047/.048
|
| 700 |
# |
1 |
$a Корняков
$b Н. В.
$g Никита Валентинович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070221
$g psbo
|
