Коррекция эффектов близости при электронной литографии по методу дифференциации дозы
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Корняков, Н. В. |
| Опубликовано: | Ярославль , 1989 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препр.
№ 12 |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||