Исследование процесса получения металлических пленок методом электроннолучевого испарения и разработка технологии металлизации больших интегральных схем: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук: (05.12.18)
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Коптенко, В. М. |
| Wydane: | Киев , 1980 |
| Opis fizyczny: |
24 с. : черт.
|
| Język: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||