Исследование процесса получения металлических пленок методом электроннолучевого испарения и разработка технологии металлизации больших интегральных схем: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук: (05.12.18)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Коптенко, В. М. |
| Опубликовано: | Киев , 1980 |
| Физические характеристики: |
24 с. : черт.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||