Высокоразрешающая фотолитография на основе халькогенидных стекол применительно к задачам акустоэлектроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01 ; 05.27.06) / Киев. политехн. ин-т им. 50-летия Великой Октябр. соц. революции
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Коломейко, А. В. |
| Опубликовано: | Киев , 1987 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr12456420000 | ||
| 005 | 20070216171201.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070216d1987 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UA |
| 200 | 1 | # | $a Высокоразрешающая фотолитография на основе халькогенидных стекол применительно к задачам акустоэлектроники $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.27.01 ; 05.27.06) $f Киев. политехн. ин-т им. 50-летия Великой Октябр. соц. революции |
| 210 | # | # | $a Киев $d 1987 |
| 215 | # | # | $a 16 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 14-16 (15 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.01 $2 oksvnk |
| 686 | # | # | $a 05.27.06 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Коломейко $b А. В. $g Анатолий Викторович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070216 $g psbo |