Высокоразрешающая фотолитография на основе халькогенидных стекол применительно к задачам акустоэлектроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01 ; 05.27.06) / Киев. политехн. ин-т им. 50-летия Великой Октябр. соц. революции
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Коломейко, А. В. |
| Опубликовано: | Киев , 1987 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||