|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr12456410000 |
| 005 |
20070216171201.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 45 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [83-65509]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070216d1983 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a UA
|
| 200 |
1 |
# |
$a Высокоразрешающая неорганическая фотолитография
$f И. М. Гранкин, А. В. Коломейко, В. П. Погребняк
|
| 210 |
# |
# |
$a Киев
$c Вища шк. Изд-во при Киев. ун-те
$d 1983
|
| 215 |
# |
# |
$a 53 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 225 |
2 |
# |
$a Ученые вузов-пр-ву
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 49-52 (45 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 1000 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Фотолитография
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002
|
| 700 |
# |
1 |
$a Коломейко
$b А. В.
$g Анатолий Викторович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Гранкин
$b И. М.
$g Илья Михайлович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Погребняк
$b В. П.
$g Виталий Петрович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070216
$g psbo
|
