Высокоразрешающая неорганическая фотолитография / И. М. Гранкин, А. В. Коломейко, В. П. Погребняк
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Коломейко, А. В. |
| Опубликовано: | Киев : Вища шк. Изд-во при Киев. ун-те , 1983 |
| Физические характеристики: |
53 с. : ил. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Ученые вузов-пр-ву
|
| Предмет: |