|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr12405130000 |
| 005 |
20070214155335.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 7 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [80-64782]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070214d1979 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Использование ионной технологии в процессах производства интегральных полупроводниковых схем
$e (Учеб. пособие)
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c МИЭТ
$d 1979
|
| 215 |
# |
# |
$a 30 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 300 |
# |
# |
$a В надзаг.: Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.: с. 28-29 (9 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 500 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводники - Легирование ионное
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002(075.8)
|
| 700 |
# |
1 |
$a Коледов
$b Л. А.
$g Леонид Александрович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070214
$g psbo
|
