Использование ионной технологии в процессах производства интегральных полупроводниковых схем: (Учеб. пособие)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Коледов, Л. А. |
| Опубликовано: | М. : МИЭТ , 1979 |
| Физические характеристики: |
30 с. : ил. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||