Исследование свойств и технологии получения металлооксидных конденсаторных структур на основе легированных пленок тантала для тонкопленочных микросхем аппаратуры связи: (05.301): Автореф. дисс. на соискание учен. степени канд. техн. наук / Ленингр. электротехн. ин-т связи им. М. А. Бонч-Бруевича
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Козлов, С. В. |
| Опубликовано: | Л. , 1970 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr12327680000 | ||
| 005 | 20070214154227.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [70-25037а] |
| 100 | # | # | $a 20070214d1970 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование свойств и технологии получения металлооксидных конденсаторных структур на основе легированных пленок тантала для тонкопленочных микросхем аппаратуры связи $e (05.301) $e Автореф. дисс. на соискание учен. степени канд. техн. наук $f Ленингр. электротехн. ин-т связи им. М. А. Бонч-Бруевича |
| 210 | # | # | $a Л. $d 1970 |
| 215 | # | # | $a 20 с. |
| 686 | # | # | $a 05.301 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Козлов $b С. В. |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070214 $g psbo |