Исследование свойств и технологии получения металлооксидных конденсаторных структур на основе легированных пленок тантала для тонкопленочных микросхем аппаратуры связи: (05.301): Автореф. дисс. на соискание учен. степени канд. техн. наук / Ленингр. электротехн. ин-т связи им. М. А. Бонч-Бруевича
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Козлов, С. В. |
| Опубликовано: | Л. , 1970 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||