Математическое моделирование и оптимизация процесса экспонирования в электронно-лучевой литографии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (05.27.01) / Ин т общей физики АН СССР
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Ковтун, Б. Н. |
| Опубликовано: | М. , 1987 |
| Физические характеристики: |
22 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr12241960000 | ||
| 005 | 20070213141309.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070213d1987 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Математическое моделирование и оптимизация процесса экспонирования в электронно-лучевой литографии $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук $e (05.27.01) $f Ин т общей физики АН СССР |
| 210 | # | # | $a М. $d 1987 |
| 215 | # | # | $a 22 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 21-22 (13 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Ковтун $b Б. Н. $g Борис Николаевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070213 $g psbo |