Математическое моделирование и оптимизация процесса экспонирования в электронно-лучевой литографии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (05.27.01) / Ин т общей физики АН СССР
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Ковтун, Б. Н. |
| Опубликовано: | М. , 1987 |
| Физические характеристики: |
22 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||