Влияние неоднородностей эпитаксиальных слоев на свойства анодных оксидных пленок и электрофизические параметры полупроводниковых приборов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.17.16)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Клебанова, Н. А. |
| Опубликовано: | М. , 1984 |
| Физические характеристики: |
24 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||