Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур / В. Ю. Киреев, Б. С. Данилин, В. И. Кузнецов
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Киреев, В. Ю. |
| Апублікавана: | М. : Радио и связь , 1983 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
126 с. : ил. ; 20 см
|
| Мова: | Руская |
| Серыя: |
Массовая б-ка инженера «Электроника»
Вып. 36 |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 2 , даступна: 2 | Даступна Замовіць | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||