Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур / В. Ю. Киреев, Б. С. Данилин, В. И. Кузнецов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Киреев, В. Ю. |
| Опубликовано: | М. : Радио и связь , 1983 |
| Физические характеристики: |
126 с. : ил. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Массовая б-ка инженера «Электроника»
Вып. 36 |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||