Разработка параметрических рядов унифицированных средств откачки и сверхвысоковакуумного технологического оборудования на их основе: Дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук в форме науч. докл.: (05.27.07) / Моск. ин-т электрон. машиностроения
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Кеменов, В. Н. |
| Опубликовано: | М. , 1990 |
| Физические характеристики: |
30 с. : рис.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||