Моделирование и оптимизация технологического процесса изготовления тонкопленочных микросборок применяемых в приборостроении: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.11.14) / Моск. авиац. ин-т им. С. Орджоникидзе
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Кашников, В. В. |
Опубликовано: | М. , 1985 |
Физические характеристики: |
18 с.
|
Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|