Исследование процесса нанесения пленок молибдена и вольфрама из парогазовой смеси для применения в технологии полупроводниковых приборов: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук: (05.17.16)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Качурина, Е. Е. |
| Опубликовано: | М. , 1978 |
| Физические характеристики: |
21 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr11782920000 | ||
| 005 | 20070202153913.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070202d1978 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование процесса нанесения пленок молибдена и вольфрама из парогазовой смеси для применения в технологии полупроводниковых приборов $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук $e (05.17.16) |
| 210 | # | # | $a М. $d 1978 |
| 215 | # | # | $a 21 с. |
| 300 | # | # | $a Для служеб. пользования. В надзаг.: Моск. ин-т стали и сплавов |
| 686 | # | # | $a 05.17.16 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Качурина $b Е. Е. $g Евгения Ефимовна |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070202 $g psbo |