Исследование процесса нанесения пленок молибдена и вольфрама из парогазовой смеси для применения в технологии полупроводниковых приборов: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук: (05.17.16)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Качурина, Е. Е. |
| Опубликовано: | М. , 1978 |
| Физические характеристики: |
21 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||