Разработка физических основ многослойной металлизации СБИС на базе систем PtSi(W-Ti)Ar-Si и TiSi2(W-Ti)Ar-Si: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (01.04.07) / Воронеж. политехн. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Кастрюлёв, А. Н. |
| Опубликовано: | Воронеж , 1989 |
| Физические характеристики: |
21 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000cam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr11715060000 | ||
| 005 | 20231102151754.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070202d1989 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Разработка физических основ многослойной металлизации СБИС на базе систем PtSi(W-Ti)Ar-Si и TiSi2(W-Ti)Ar-Si $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (01.04.07) $f Воронеж. политехн. ин-т |
| 210 | # | # | $a Воронеж $d 1989 |
| 215 | # | # | $a 21 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 20-21 (19 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 01.04.07 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Кастрюлёв $b А. Н. $g Александр Николаевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070202 $g psbo |