Разработка физических основ многослойной металлизации СБИС на базе систем PtSi(W-Ti)Ar-Si и TiSi2(W-Ti)Ar-Si: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (01.04.07) / Воронеж. политехн. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Кастрюлёв, А. Н. |
| Опубликовано: | Воронеж , 1989 |
| Физические характеристики: |
21 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||