Исследование характеристик вакуумного дугового разряда в поперечном магнитном поле и разработка плазменных источников геттерных пленок с магнитной стабилизацией: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (01.04.13) / НИИ электрофиз. аппаратуры им. Д. В. Ефремова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Карпов, Д. А. |
| Опубликовано: | Л. , 1989 |
| Физические характеристики: |
18 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||