Разработка и оптимизация процессов ионного легирования в производстве интегральных схем на МДП-Структурах: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.18)

Сохранено в:
Шифр документа: АЯ503548СК,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Карплюк, А. И.
Опубликовано: Киев , 1984
Физические характеристики: 23 с.
Язык: Русский

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 1 , доступно: 1 Доступно  Заказать

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
АЯ503548СК ОФХ отдела книгохранения (039) 11:4:2:66 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал