Разработка и исследование методов и образцовых средств измерений характеристик диэлектриков малых толщин и диэлектрических пленок: (05.11.05): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук / ВНИИ метрологии им. Д. И. Менделеева
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Карих, Н. М. |
Опубликовано: | Л. , 1978 |
Физические характеристики: |
16 с. : черт.
|
Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|