Метод геттерирования в технологии интегральных схем на основе газоразрядной обработки кремниевых пластин: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / Одес. электротехн. ин-т связи им. А. С. Попова
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Каменский, В. Л. |
| Wydane: | Одесса , 1990 |
| Opis fizyczny: |
22 с.
|
| Język: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||