Метод геттерирования в технологии интегральных схем на основе газоразрядной обработки кремниевых пластин: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / Одес. электротехн. ин-т связи им. А. С. Попова
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Каменский, В. Л. |
| Publicado: | Одесса , 1990 |
| Descripción Física: |
22 с.
|
| Lenguaje: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||