Метод геттерирования в технологии интегральных схем на основе газоразрядной обработки кремниевых пластин: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / Одес. электротехн. ин-т связи им. А. С. Попова
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Каменский, В. Л. |
| Publié: | Одесса , 1990 |
| Description matérielle: |
22 с.
|
| Langue: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||