Метод геттерирования в технологии интегральных схем на основе газоразрядной обработки кремниевых пластин: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / Одес. электротехн. ин-т связи им. А. С. Попова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Каменский, В. Л. |
| Опубликовано: | Одесса , 1990 |
| Физические характеристики: |
22 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||