Метод геттерирования в технологии интегральных схем на основе газоразрядной обработки кремниевых пластин: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / Одес. электротехн. ин-т связи им. А. С. Попова
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Каменский, В. Л. |
Опубликовано: | Одесса , 1990 |
Физические характеристики: |
22 с.
|
Язык: | Русский |
00000nam0a22000001ia4500 | |||
001 | BY-NLB-rr11448880000 | ||
005 | 20070129141746.0 | ||
100 | # | # | $a 20070129d1990 y0rusy50 ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a UA |
200 | 1 | # | $a Метод геттерирования в технологии интегральных схем на основе газоразрядной обработки кремниевых пластин $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.27.01) $f Одес. электротехн. ин-т связи им. А. С. Попова |
210 | # | # | $a Одесса $d 1990 |
215 | # | # | $a 22 с. |
300 | # | # | $a Библиогр.: с. 21-22 (12 назв.). Для служеб. пользования |
686 | # | # | $a 05.27.01 $2 oksvnk |
700 | # | 1 | $a Каменский $b В. Л. $g Владимир Леонидович |
801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070129 $g psbo |