Метод геттерирования в технологии интегральных схем на основе газоразрядной обработки кремниевых пластин: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / Одес. электротехн. ин-т связи им. А. С. Попова

Сохранено в:
Шифр документа: 116735/90СК,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Каменский, В. Л.
Опубликовано: Одесса , 1990
Физические характеристики: 22 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr11448880000
005 20070129141746.0
100 # # $a 20070129d1990 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a UA 
200 1 # $a Метод геттерирования в технологии интегральных схем на основе газоразрядной обработки кремниевых пластин  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e (05.27.01)  $f Одес. электротехн. ин-т связи им. А. С. Попова 
210 # # $a Одесса  $d 1990 
215 # # $a 22 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 21-22 (12 назв.). Для служеб. пользования 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Каменский  $b В. Л.  $g Владимир Леонидович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070129  $g psbo