Взаимосвязь рекомбинационных характеристик системы Si-SiO2-Si3N4 с методиками синтеза и обработки диэлектрических слоев: (01.04.10): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / Киев. гос. ун-т им. Т. Г. Шевченко
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Калшабеков, А. С. |
| Опубликовано: | Киев , 1989 |
| Физические характеристики: |
15 с. : граф.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||