Ускоренный распад кластеров собственных точечных дефектов при импульсном нагреве кристалла / АН СССР, Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Итальянцев, А. Г. |
| Издание: | Препр. |
| Publicado: | Черноголовка , 1986 |
| Descripción Física: |
25 с. : рис.
|
| Lenguaje: | Русский |
| Materias: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||