Ускоренный распад кластеров собственных точечных дефектов при импульсном нагреве кристалла / АН СССР, Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Итальянцев, А. Г. |
| Издание: | Препр. |
| Опубликовано: | Черноголовка , 1986 |
| Физические характеристики: |
25 с. : рис.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||