Ускоренный распад кластеров собственных точечных дефектов при импульсном нагреве кристалла / АН СССР, Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Итальянцев, А. Г. |
| Publication Info: | Препр. |
| Published: | Черноголовка , 1986 |
| Physical Description: |
25 с. : рис.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||