
Ускоренный распад кластеров собственных точечных дефектов при импульсном нагреве кристалла / АН СССР, Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов
Gespeichert in:
Format: | |
---|---|
1. Verfasser: | Итальянцев, А. Г. |
Издание: | Препр. |
Veröffentlicht: | Черноголовка , 1986 |
Beschreibung: |
25 с. : рис.
|
Sprache: | Русский |
Schlagworte: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|