Ускоренный распад кластеров собственных точечных дефектов при импульсном нагреве кристалла / АН СССР, Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Итальянцев, А. Г. |
| Выданне: | Препр. |
| Апублікавана: | Черноголовка , 1986 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
25 с. : рис.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||