Моделирование технологических процессов ионно-плазменного распыления в условиях гибкого автоматизированного производства радиоэлектронной аппаратуры: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.13) / Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Иванцов, В. В. |
| Опубликовано: | Л. , 1984 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||