Автоматизация технологических операций механической обработки кремниевых подложек интегральных микросхем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.13.07)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Иванов, Л. А. |
| Опубликовано: | Воронеж , 1985 |
| Физические характеристики: |
17 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr10866850000 | ||
| 005 | 20070105120529.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070105d1985 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Автоматизация технологических операций механической обработки кремниевых подложек интегральных микросхем $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.13.07) |
| 210 | # | # | $a Воронеж $d 1985 |
| 215 | # | # | $a 17 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Воронеж. политехн. ин-т. Библиогр.: с. 15-17 (18 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.13.07 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Иванов $b Л. А. $g Лев Алексеевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070105 $g psbo |