Автоматизация технологических операций механической обработки кремниевых подложек интегральных микросхем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.13.07)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Иванов, Л. А. |
| Опубликовано: | Воронеж , 1985 |
| Физические характеристики: |
17 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||