Анализ и синтез систем с переменной структурой для регулирования температуры в технологических установках микроэлектроники: Автореф. дисс. на соискание учен. степени канд. техн. наук: (253) / Моск. ин-т электронного машиностроения
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Иванов, Е. А. |
| Опубликовано: | М. , 1969 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||