Разработка и исследование системы питания испарителя и контроля технологического режима электронно-лучевых установок напыления: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.02 ; 05.27.06) / Всесоюз. электротехн. ин-т им. В. И. Ленина
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Иванов, В. Н. |
| Опубликовано: | М. , 1989 |
| Физические характеристики: |
23 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr10846450000 | ||
| 005 | 20070104170049.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070104d1989 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Разработка и исследование системы питания испарителя и контроля технологического режима электронно-лучевых установок напыления $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.27.02 ; 05.27.06) $f Всесоюз. электротехн. ин-т им. В. И. Ленина |
| 210 | # | # | $a М. $d 1989 |
| 215 | # | # | $a 23 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 23 (8 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.02 $2 oksvnk |
| 686 | # | # | $a 05.27.06 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Иванов $b В. Н. $g Владимир Николаевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070104 $g psbo |