Разработка и исследование системы питания испарителя и контроля технологического режима электронно-лучевых установок напыления: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.02 ; 05.27.06) / Всесоюз. электротехн. ин-т им. В. И. Ленина
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Иванов, В. Н. |
| Опубликовано: | М. , 1989 |
| Физические характеристики: |
23 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||